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TY系列复合分子泵 - TY系列复合分子主要技术参数: 技术数据 TYFB-600复合分子泵 TYFB-1200复合分子泵 TYFB-1600复合分子泵 高真空法兰(mm) 150 CF 160 ISO-K 200 CF 200 ISO-K 250 CF 250 ISO-K 前级管道法兰(mm) 40 KF 40 KF 50 KF 抽气速(L/S) 600 1200 1600 压缩比 N2 >109 >109 >109 H2 >8X103 >1X104 >1X104 极限压强(Pa)帕 <8×10-8 <5×10-7 <8×10-8 <5×10-7 <8×10-8 <5×10-7 电机转数(n/min) 24000 24000 21000 启动时间(min) <5 <5 <6 建议采用的前级泵 4-8 L/S 8-15 L/S 15 L/S 冷却方式 水冷(风冷) 水冷(风冷) 水冷(风冷) 风冷泵环境温度 ≤25℃ ≤25℃ ≤25℃ 水冷冷却水温度 ≤20℃ ≤20℃ ≤20℃ 水冷冷却水流量(L/min) 1 1 1 泵体烘烤温度 <120℃ <120℃ <120℃ 加热器功率(w) <550 <600 <700 加热器输入电压(v) AC220 AC220 AC220 安装方向 垂直±5° 垂直±5° 垂直±5° 泵重量(kg) ≈29 ≈34 ≈39